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閥板—三工位氦檢系統(tǒng)

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工件內(nèi)充入設定壓力的氦氣作為試漏介質(zhì),，用真空箱法對工件進行氦質(zhì)譜測漏，檢測結(jié)束氦氣要回收，用于循環(huán)使用

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